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翻板阀

详细介绍

翻板阀

为维持炉室中的局部压力温度等工艺条件，设置了隔离阀。关闭此阀后，可以打开副室，从而装卸籽晶或取单晶。翻板阀前部观察口用于观察翻板阀的状况。翻板阀右侧有一真空压力表，为拉晶过程中更换籽晶时向副室充入氩气时显示压力。翻板阀是否开关到位可通过左侧标记来判定。

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