炉体
该部分是炉子的心脏部位。内装炉子的热系统、坩埚和硅料等。主炉室由下炉体、中炉体和上炉盖组成,外层均为 304L 不锈钢焊接而成的双层水冷结构,内壁材料 316L 均为双面焊并经严格的质量检查。下炉体与中炉体之间,中炉体与上炉盖之间,均有导向销定位,以保证每次合炉的准确性。
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